簡要描述:高分辨X射線衍射儀其可靠性的增強及性能的改進提高了分析能力,提供一體化解決方案來滿足不同需求和應用X射線衍射儀X-Ray分析力提高一體化高分辨率
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儀器種類 | 探測器及其他設備 | 應用領域 | 綜合 |
X射線衍射儀X-Ray分析力提高一體化高分辨率
高分辨X射線衍射儀其可靠性的增強及性能的改進提高了分析能力,提供一體化解決方案來滿足不同需求和應用:
• 半導體和單晶晶圓:倒易空間探索、搖擺曲線分析
• 多晶固體和薄膜:織構(gòu)分析、反射測量
• 超薄薄膜、納米材料和非晶層:掠入射物相鑒定、面內(nèi)衍射
• 非常溫條件下的測量:隨溫度和時間變化的峰高
推動薄膜領域的材料研究材料研究的進步給我們的生活方式帶來了巨大變化。例如,材料技術推動了通信技術的發(fā)展,而這些技術如今早已成為我們?nèi)粘I钪忻懿豢煞值囊徊糠帧1∧そY(jié)構(gòu)是電子、光學、機械和能源應用的許多高級功能設備的核心所在。多層材料現(xiàn)在,生長技術允許多層結(jié)構(gòu)沉積,其中各層的厚度可以從微米級別低至單分子層級別。高級薄膜設備所涉及的典型材料包括半導體、金屬合金、介電材料和化合物。在各種薄膜結(jié)構(gòu)中,通常需要進行多次測量來分析各種屬性,比如層厚、晶相和合金成分、應力、結(jié)晶度、密度和界面形態(tài)等。研究和監(jiān)測結(jié)構(gòu)特性為了設計、理解和改進新器件,在多步制程的每個階段都必須測量關鍵的結(jié)構(gòu)特性。在薄膜器件的研究、開發(fā)和生產(chǎn)中,對薄膜性能的監(jiān)測是不可少的一步。
X射線衍射儀X-Ray分析力提高一體化高分辨率
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