簡(jiǎn)要描述:MarSurf WI系列是Mahr新研發(fā)光學(xué)3D表面輪廓儀產(chǎn)品,是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器;根據(jù)配置和應(yīng)用的不同,分為WI 50 M,WI 50和WI 100三個(gè)型號(hào)。馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩(wěn)固可靠
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馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩(wěn)固可靠
MarSurf WI系列是Mahr新研發(fā)光學(xué)3D表面輪廓儀產(chǎn)品,是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器;根據(jù)配置和應(yīng)用的不同,分為WI 50 M,WI 50和WI 100三個(gè)型號(hào);WI系列以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
MarSurf WI光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、guofangjun工、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
應(yīng)用測(cè)試項(xiàng)目:對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
馬爾 marsurf wi系列 白光干涉儀 穩(wěn)固可靠
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